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掃描電子顯微鏡（簡稱掃描電鏡，SEM）是繼透射電鏡之后發(fā)展起來的一種電鏡。與透射電鏡的成像方式不同，掃描電鏡是用聚焦電子束在樣品表面逐點掃描成像。試樣為塊狀或粉末顆粒，成像信號可以是二次電子（被入射電子轟擊出來的樣品核外電子）、背散射電子（被固體樣品中原子反射回來的一部分入射電子）或吸收電子。其中二次電子為主要的成像信號?，F(xiàn)以二次電子像的成像過程來說明掃描電鏡的工作原理。由電子槍發(fā)射的能量為5-35KeV的電子，以其交叉斑作為電子源，經(jīng)二級聚光鏡及物鏡的縮小形成

具有一定能量、一定束流強度和束斑直徑的微細電子束，在掃描線圈驅(qū)動下，于試樣表面按一定時間、空間順序作柵網(wǎng)式掃描。聚焦電子束與試樣相互作用，產(chǎn)生二次電子發(fā)射（以及其他物理信號），二次電子發(fā)射量隨試樣表面形貌而變化。二次電子信號被探測器收集轉(zhuǎn)換成電訊號，經(jīng)視頻放大后輸入到顯像管柵極，調(diào)制與入射電子束同步掃描的顯像管亮度，得到反映試樣表面形貌的二次電子像。

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通流容量：

通流容量是指施加規(guī)定波形的沖擊電流和沖擊次數(shù)，沖擊后壓敏電壓的變化小于或等于規(guī)定值時所能通過的電流。它和脈沖幅度，脈沖持續(xù)時間及應用中所要承受的脈沖次數(shù)有關，可從降額曲線中查得。測量時一般施加8*20μs或2ms的方波。

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